河北同光晶体俯瞰图。 罗大庆 摄
技术人员正在贴片间操作。 罗大庆 摄
长城网保定讯(通讯员姚琳 张洁 记者李刚)5月14日,记者走进位于保定市高新区的河北同光晶体有限公司生产车间,50台机器正在满负荷地生产第三代半导体碳化硅单晶衬底。在车间的走廊里,展示晶莹剔透的碳化硅晶体,它是构建我国5G产业高端电力电子等产业所必需的核心材料。
技术人员在CMP间进行操作。 罗大庆 摄
河北同光晶体是专业从事第三代半导体材料碳化硅单晶片研发、生产、销售的战略新兴企业。碳化硅单晶材料广泛应用于电力电子器件、光电子器件等领域,在宽带通讯、太阳能、智能电网等众多战略行业可以降低50%以上的能量损失,最高可使装备体积减小75%以上。该公司与中国科学院半导体研究所密切合作,引进李树深院士等为带头人的技术团队,2016年,双方联合成立了sic单晶材料与应用研究联合实验室,并成为中国科学院半导体研究所在保定高新区的成果转化基地,推进半导体材料及系统集成应用成果转化,促进在电力电子、光电领域及其他相关领域完善产业链条。2017年,该公司主导,联合中科院半导体所、清华大学、北京大学等搭建起第三代半导体材料检测平台,深度融合产学研,填补了我省新材料专业检测平台的空白。
技术员在精磨间检测晶片抛光质量。 罗大庆 摄
目前,河北同光公司研发产品已涵盖直径4至6英寸导电型和高纯半绝缘型碳化硅单晶。经检测,各项技术指标已达世界先进水平。尤其高纯半绝缘型碳化硅单晶拥有极高的技术壁垒,河北同光公司用了6年时间,将晶体的良品率从最初的不到10%提升到60%以上,纯度达到了小于0.01PPM,质量可媲美美国等发达国家。
技术员在检测间检测晶片表面粗糙度。 罗大庆 摄